Formula untuk SiC kasar, sederhana dan halus hendaklah 5:1:4. Bahan mentah untuk pembuatan bata silikon karbida secara amnya adalah SiC hitam, dengan komposisi kimia berikut: SiC 98.0%, C bebas 0.5%, Fe 0.2%, dan SiO percuma2 0.6%. Oleh kerana kaedah gabungan yang berbeza, terdapat perbezaan dalam proses pembuatan. Proses ringkas kaedah gabungan yang berbeza ialah:
(1) Silikon nitrida digabungkan dengan bata silikon karbida: Jasad hijau yang terbentuk daripada zarah silikon karbida kasar, sederhana dan halus serta serbuk silikon halus, dalam gas N2 tulen pada 1370 darjah , menghasilkan struktur dengan% 26 - SiC sebagai rangka dan% 26 dan% 26 - Si3N4. Silikon nitrida digabungkan dengan bata silikon karbida untuk substrat. Masih terdapat sedikit baki silikon dan SiO2 dalam matriks dalam produk, dan kandungan relatif komponen ini berbeza-beza bergantung kepada kilang pembuatan.
(2) Menggabungkan bata silikon karbida: SiC, serbuk silikon, dan serbuk karbon dicampur dan dibentuk dalam nisbah tertentu, dan dibakar dalam suasana pengurangan pada 1400 darjah . Dalam kebanyakan kes, penembakan arang terkubur digunakan. Semasa proses penembakan, a% 26 - bata SiC terikat Si3N4 dengan% 26 - SiC sebagai rangka dan butiran halus% 26 - SiC sebagai matriks terhasil 26 - SiC terbentuk oleh tindak balas serbuk silikon halus dan serbuk karbon halus semasa proses pembakaran, dan produk ini juga mengandungi sejumlah kecil sisa silikon dan karbon.
(3) Silikon oksinitrida digabungkan dengan bata silikon karbida: Apabila menyediakan bata ini, bahagian serbuk silikon halus hendaklah kurang daripada silikon karbida.
Proses pengeluaran bata silikon karbida
Aug 17, 2024
Tinggalkan pesanan
